本文標(biāo)題："光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來測量表面粗糙度"
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光學(xué)顯微鏡采用非接觸方法來測量表面表面粗糙度儀
使用照相記錄的斑紋干涉量度學(xué)
干涉儀是測量波列之間相位差的光學(xué)儀器，由此推論，它
也是利用光的波長測量長度的光學(xué)儀器．
指出，當(dāng)光的波列本身是復(fù)雜的亦即是斑紋圖樣場時，不能直
接作出這些測量．需要實行某種光學(xué)處理來提取信息．在很
多情況下，這個中間步驟最好是通過照相記錄斑紋圖樣強(qiáng)度
分布來實現(xiàn)．當(dāng)然必須使用能分辨斑紋的照相材料，這可能
需要使用細(xì)顆粒的全息干板或膠片．照相法的優(yōu)點不僅在
于能提供一個光學(xué)濾波器重新插入光學(xué)系統(tǒng)中，能作“活”
測量，而且用雙曝光法能永久記錄一段時間內(nèi)發(fā)生的相位變
化．全息干涉量度學(xué)中使用照相記錄的情況與此類似．
需要尋找一種良好的非接觸方法來測量表面應(yīng)變，即一
種取代常規(guī)應(yīng)變計的方法，無疑地促進(jìn)了斑紋干涉量度學(xué)的
發(fā)展．雖然已經(jīng)知道全息干涉量度學(xué)，能夠測量三維空間
內(nèi)總的表面位移和形變，但實際上要把運(yùn)動的面內(nèi)分量與離
面分量分開是困難的．而且這個方法對位移和轉(zhuǎn)動的不同方
向的靈敏度可以顯著不同．要測量應(yīng)變，我們只需要測量面
內(nèi)位移，并找出它的變化與所要求的方向上的距離之間的函
數(shù)關(guān)系．將要指出，斑紋干涉量度學(xué)能做到這一點，與垂直于
表面的方向上發(fā)生的任何位移無關(guān)．
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