本文標(biāo)題:" 電子顯微鏡的原理-什么是襯度而成像"
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電子顯微鏡的原理-什么是襯度而成像
光電發(fā)射電子顯微鏡記錄的是樣品吸收電離輻射而發(fā)射的電子.電子被樣品
與物透鏡(也稱陰極透鏡)的外電極之間的強(qiáng)電場加速,物鏡產(chǎn)生的放大圖像再被
一系列磁或靜電電子透鏡放大上百或上千倍.最后用二維電子探測器記錄電子的發(fā)
射.
當(dāng)X射線被物質(zhì)吸收的時(shí)候,電子從芯能級(jí)被激發(fā)到未占據(jù)的電子態(tài),留下空
的芯能級(jí)態(tài).芯空穴的衰退過程導(dǎo)致二次電子的產(chǎn)生.電子的俄歇和非彈性散射過
程產(chǎn)生低能電子流,其中有些電子穿越樣品表面逃逸到真空,被PEEAM的電子光學(xué)
系統(tǒng)收集.由于輻射能量以及樣品功函數(shù)的不同,一個(gè)寬的電子譜隨之產(chǎn)生.這種
寬的電子分布是PEEM圖像失真的主要來源,這是因?yàn)殡娮油哥R不是單色的而是
多色的(CHROMATIC).盡管X射線的穿透能力比較強(qiáng),由于發(fā)射的電子來源于非常
淺的表面,PEEM是表面敏感的技術(shù).通常大部分信號(hào)產(chǎn)生于表層2-5nm.
光電發(fā)射電子顯微鏡是通過表面形貌、元素、化學(xué)成分以及磁性等因素的
變化產(chǎn)生的襯度而成像的,
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