本文標(biāo)題：" 精細(xì)零件測(cè)量用便攜式光學(xué)顯微鏡制造廠商"
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精細(xì)零件測(cè)量用便攜式光學(xué)顯微鏡制造廠商
顯微干涉輪廓儀結(jié)構(gòu)的主要要求，是放被檢零件的工作臺(tái)和干涉
頭聯(lián)結(jié)的剛性要好，必須保證干涉條紋對(duì)振動(dòng)的靈敏度為最小。在調(diào)
整機(jī)構(gòu)方面，三個(gè)相互垂直方向精密移動(dòng)被檢表面13和繞其兩軸轉(zhuǎn)動(dòng)，
要求有很靈巧的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。另外，為了使兩路相干光束的光程相等，
沿光軸方向精密移動(dòng)物鏡和棱鏡也值得注意。
帶有光譜分光鏡的顯微干涉輪廓儀為了檢驗(yàn)外圓磨表面的微觀幾
何形狀（其加工痕跡是不規(guī)則的），
小型光譜分光鏡或光譜目鏡代替干涉顯微鏡的目鏡，并在被檢表
面的像平面上，安放一個(gè)狹縫光闌。按這種光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)了顯微干涉
輪廓儀
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